Ristvoolu rõhureguleerimisventiilide struktuurid on atraktiivsed suure voolu rõhu reguleerimise rakenduste jaoks, kuna on vaja väiksemat käitamisjõudu ja seadme väiksemat ala. Valmistati noaga ventiil, mis reguleeris voolu 1,3 Nl/min toiterõhul 1,5 baari. Klapp valmistati mikrost, kasutades sügavat reaktiivset ioonisöövitust (DRIE) ja räni liitmist. Mikrotöödeldud nugaventiilide kasutamine rõhureguleerimissüsteemides suurendab jõudlust ja võimaldab kulusid kokku hoida.
Nugavärava ventiil
Küsi pakkumist